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石墨靶材电流对Ti(C,N)多层膜微观组织及力学性能的影响


西 安 理 工 大学 学 报 Junl f ia  n esyo T cnlg( 09 o.5N .  ora o X ’nU i r t f eh ooy 2 0 )V 1   o4   v i  2 文 章 编 号 : 0 6 7 0 20 )40 5 -5 10 - 1 (0 9 0 - 50   4 4 45 5  石 墨 靶 材 电 流 对 T( i C,N) 层 膜 微 观 组 织  多 及 力 学 性 能 的影 响  李斌  ,张 国君  ,蒋百灵  ,陈迪春  ,严富 学   ( . 安 理 工 大 学 材 料 科 学 与 工 程 学 院 , 西 西 安 7 0 4 ;. 安交 通 大 学 材 料 科 学 与 工 程 学 院 , 西 西安 70 4 ) 1西 陕 10 8 2 西 陕 10 9  摘 要 : 用反应 非平衡 磁控 溅射 技 术制备 了 r ( 采 r C,N) i 多层 膜 , 中以石 墨靶 材作 为镀层 生长 所 需  其 的碳 源。 实验研 究 了石 墨靶 材 电流 变化 对 T( ic,N) 多层膜微 观 组 织、 学性 能 以及 摩擦 性 能 的影  力 响。采 用 x射 线衍射 仪及 透射 电子显微 镜观 察 分析 了多层 膜 的相组 成 与微 观 组 织 ; 用维 氏显 微  使 硬 度计及销 盘试 验机 分 别测 试 了 多层 膜 的显 微 硬 度 与摩 擦 系数 。研 究 结 果表 明 , 制备 的 T(   所 iC, N) 层不仅 具有 多层 结构 而且 镀层 内还 存在 大量 的 纳 米柱 状 晶 粒。T ( 镀 i c,N) 层 内晶 粒尺 寸 随  镀 石 墨靶 材 电流 的增加 而逐 渐 减 小而 多层 周期 厚度 随着石 墨靶材 电流的增 加 而增 大。镀 层 的 多层 结  构 强烈抑 制 T ( iC,N) 状 晶的 生长 , 柱 当石 墨靶 材 电流 增加 时 ,i C,N) 层 内细 小的 柱状 晶逐 渐  T( 镀 消失 并 出现 非 晶相 。   关 键词 : iC,N) T( ;多层 膜 ; 墨靶材  石 中图分 类号 : G 7 .4   T 14 4 4 文献 标识 码 :   A Efe t  fG r p t   r e   f c s o   a hie Ta g tCur e to   i r s r c ur   n   e ha i a   o e te   r n   n M c o t u t e a d M c n c lPr p ri s o   i C, fT ( N)Mut a e   i lly rF l i m  L   n’ IBi   , Z A G G ojn , I N   a—n  H N   i h n , A   ux e H N   u -   J G B i ig ,C E G D . u   Y N F  u   u A l c ( .Fc l f t a SineadE g er g X ’nU i r t o eho g , ia  10 8 hn ; 1 aut o  e l cec n  n i e n , ia  n esy f cnl y Ma r   i n i v i  T o y X ’n70 4 ,C ia  2 c o l f t i   ce c  n   n ie r g X ’ nJ o n   n es y X ’ n7 0 4 , hn ) .S h o o  e a S

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